蚀刻机冷却装置的保养及操作需要注意的问题

蚀刻机冷却装置的保养及操作需要注意的问题

蚀刻机冷却装置的保养及操作需要注意的问题

　　当蚀刻机冷却装置在启动之前不需要打开装置上的冷凝器的进气阀时，发生水窜。一部分冷却回水从非启动冷凝器流出，减少了运行单元冷凝器内的冷却水流量，使冷凝压力上升，主机运行电流增加，冷却单位的能力下降。蚀刻机冷却装置严重的是，该装置将停止运行，这会浪费电力，降低制冷效果并且容易损坏装置。因此，在启动之前不必关闭装置的冷凝器的进水阀以防止水窜。

　　由于不需要打开的单元上的冷凝器的入口阀未关闭，因此主发动机的冷凝压力和冷却水的出口温度增加。这会对操作员造成误判，误认为冷却水不足，扩大了冷凝器和冷却水泵的进出阀门，有些还增加了冷却塔风扇，导致水泵和冷却塔风扇的功耗增加。

　　在启动之前应注意蚀刻机冷却装置。

　　有必要检查设备的电源是否正确连接。首先，将系统中的水煮沸，然后将冷却器煮沸。装置周围是否有异常？蚀刻机冷却装置的水箱和冷凝器须注满水。不要在没有水的情况下运行检查制冷（但）水阀是否已打开，水箱是否处于待机状态，冷却泵是否试图*运行。

　　蚀刻机冷却装置的维护;

保持清洁，保持空气流通，低温，避免杂物进入，降低散热效果。工业用蚀刻机冷却装置请保持冷却盘管表面清洁，保证空气流通，低温，定期清洗盘管结垢，确保良好的传热效果。如果蚀刻机冷却装置已使用半年以上，或制冷量减少，或高/低压开关经常发生故障，请安排工作人员清洁冷凝器。