品牌 | LNEYA/无锡冠亚 | 冷却方式 | 风冷式 |
---|---|---|---|
价格区间 | 5万-10万 | 产地类别 | 国产 |
仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子,航天,制药,汽车 |
型号 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
温度范围 | -45℃~225℃ | -60℃~225℃ | -80℃~225℃ | -100℃~225℃ | -120℃~225℃ | |
制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
-60℃ | 2kW | |||||
-80℃ | 1.5kW | |||||
-100℃ | 1.2kW | |||||
-120℃ | 1.2kW | |||||
温控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
温度转换时间 | -25℃ to 150℃ 约10S 150℃to -25℃ 约20s | -45℃ to 150℃ 约10S 150℃to -45℃ 约20s | -55℃ to 150℃ 约10S 150℃to -55℃ 约15s | -70℃ to 150℃ 约10S 150℃to -70℃ 约20s | -80℃ to 150℃ 约11S 150℃to -80℃ 约20s | |
空气要求 | 空气滤清器<5um 空气含油量:<0.1ppm 空气温湿度:5℃~32℃ 0~50%RH | |||||
空气处理能力 | 7m³/h ~ 25m³/h 压力5bar~7.6bar | |||||
系统压力显示 | 制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压) 循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上 | |||||
控制器 | 西门子PLC,模糊PID控制算法 | |||||
温度控制 | 控制出风口温度 | |||||
可编程 | 可编制10条程序,每条程序可编制10段步骤 | |||||
通信协议 | 以太网接口TCP/IP协议 | |||||
设备内部温度反馈 | 设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有) | |||||
温度反馈 | T型温度传感器 | |||||
压缩机 | 法国泰康/艾默生 | |||||
蒸发器 | 套管式换热器 | |||||
加热器 | 法兰式桶状加热器 | |||||
制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀) | |||||
操作面板 | 无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示EXCEL 数据导出 | |||||
安全防护 | 具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。 | |||||
制冷剂 | 冠亚混合制冷剂 | |||||
外接保温软管 | 方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
外型尺寸(风)cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
外型尺寸(水)cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
风冷型 | 采用铜管铝翅片冷凝方式,冷凝风机采用德国EBM轴流风机 | |||||
水冷型 W | 带W型号为水冷型 | |||||
水冷冷凝器 | 板式换热器(务必确保冷却水清洁) | |||||
冷却水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
电源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
电源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
外壳材质 | 冷轧板喷塑 (标准颜色7035) | |||||
温度扩展 | 高温到 +300℃ |
光刻机用冷水机中阀门的安装方法
光刻机用冷水机中阀门的安装方法
在光刻机用冷水机中,阀门的主要功能是控制制冷剂的流量和方向。在日常使用中,经常使用阀门。当行业冷水机需要停止或打开时,需要使用阀门。由于其日常使用频率很高,因此在安装过程中应多加注意,以确保其正常使用而不会影响工业的稳定性冷水机。
1.阀门应安装在易于拆卸和维护的地方。在安装各种阀门时,请注意制冷剂的流动方向,不要以相反的方向安装它们。
2.安装光刻机用冷水机的法兰阀时,须在法兰板和阀法兰上加高压石棉板,并根据阀门上法兰槽的深度确定高压石棉板的厚度。当阀门较大而槽较深时,应使用较厚的石棉板,以免它们之间的凹凸面界面容易留有间隙且密封不紧密。组装法兰阀时,请确保所有螺栓受力均匀,否则,凹凸面容易产生偏斜。
3.截止阀的安装应使工作流体从阀的底部流到上部。在水平管道上安装时,阀杆应垂直向上或倾斜一定角度,并且阀杆不得向下。如果阀门位置难以接近或过高,可以将阀杆水平安装以方便操作。
4.在为光刻机用冷水机安装止回阀时,阀芯应能够自动打开。对于提升止回阀,阀芯的线和水平面应相互垂直。对于旋启式止回阀,应确保阀芯板的旋转,并且阀芯板须水平安装。
5.靠谱阀应直接安装在设备出口的截止阀上,阀体上的箭头应与工作介质的流向一致。
6.电磁阀须水平安装在设备的出口处,并位于定的位置。
7.光刻机用冷水机中的热力膨胀阀也须水平安装。