半导体高低温测试冷水机系列产品

　　半导体高低温测试冷水机（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔室温度的准确控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。

　　半导体高低温测试冷水机控温精度优于±0.3℃，可在-85℃～250℃任意工况切换，具有良好的温度跟随性；

　　半导体高低温测试冷水机具有故障自诊断功能，当设备出现故障时及时报警并显示在触摸屏上；

　　半导体高低温测试冷水机全密闭管道式设计，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温时会自动补充导热介质；

　　西门子 S7-1200PLC，模糊PID控制算法，具备串级控制算法，导热油出口温度与外接温度传感器的温度差可设定可控制；

　　半导体高低温测试冷水机主要应用于半导体行业、医疗制药行业、LED/LCD器件制造行业、航天航空领域、装备制造行业等。