半导体晶圆快速冷却装置冷冻机髙压故障对策

　　半导体晶圆快速冷却装置冷冻机，它是一类冷却循环水机器设备，半导体晶圆快速冷却装置冷冻机是一类能出示控温、恒流电源、恒流源的冷却循环水机器设备。

　　(1)、制冷温度较高，冷疑实际效果欠佳。

　　制冷机组规定的冷却循环水额定值工作状况在30~35℃，温度高，排热欠佳，必定造成 冷疑工作压力高，这类状况通常产生在高温时节。导致温度高的缘故可能是：冷却塔常见故障，如离心风机未开乃至翻转，旋转喷头不转，具体表现为冷却循环水温度很高，并且迅速上升；外部温度高，水道短，可循环系统的出水量少，这类状况冷却循环水温度通常保持在较高的水准，能够采用提升储蓄水池的方法给予处理。

　　(2)、制冷出水量不够，达不上额定值出水量。

　　具体表现是发电机组出入水压差缩小（与系统软件资金投入运作之初的压差对比），温度差变大。导致出水量不够的缘故是系统软件少水或存在汽体，解决方案是在管路高空安裝自动排气阀开展排气管；管道混合器阻塞或采用太细，透水性工作能力受到限制，应取用适合的过滤装置并按时清除滤网；离心水泵采用较小，与系统软件不配套设施。

　　(3)、冷却器积垢或阻塞。

　　凝结水通常用饮用水，在30℃以上时非常容易积垢，并且因为冷却塔是开启式的，立即曝露在空气中，尘土脏东西非常容易进到冷却系统，导致冷却器脏堵，传热总面积小，效率低，并且也危害出水量。

　　(4)、冷媒添加太多。

　　这类状况通常产生在检修以后，具体表现为吸排气管工作压力、均衡工作压力都较高，制冷压缩机运作电流量也较高。应在额定值工作状况下依据吸排气管工作压力和均衡工作压力及其运作电流量放气，直到一切正常。

　　(5）、冷媒内沾有汽体、N2等不凝固汽体。

　　这类状况通常产生在检修后，真空包装。只有排出去，再次真空包装，再次添加冷媒。

　　(6)、电气设备常见故障造成的乱报。

因为髙压维护电磁阀返潮、接触不良现象或毁坏，模块电子板返潮或毁坏，通讯常见故障造成乱报。