工业光刻机冷却系统冷水机开机停机事项

　　一、光刻机冷却系统冷水机的使用注意事项：

　　1）光刻机冷却系统冷水机组的正常开、停机须严格按照光刻机冷却系统冷水机厂家提供的操作说明书的步聚进行操作。

　　2）机组在运行过程中，应及时、正确地做好参数的记录工作，如出现报警停机，应及时通知相关人员对机组进行检查，如无法排除故障，可以直接与光刻机冷却系统冷水机厂家联系。

　　3）机组在运行过程中严禁将水流开关短接，以免冻坏水管。机房应有专门的工作人员负责，严禁闲杂人员进入机房，操作机组。

　　4）机房应配备相应的靠谱防护设备和维修检测工具，如压力表、温度计等，工具应存放在固定位置。

　　二、光刻机冷却系统冷水机组停机注意事项

　　1）机组在停机后应切断主电源开关。在停机时期间，应该将机组全部遮盖，防止积灰，与机组无关的人员不得接触机器。

　　2）如机组处于长期停机状态期间，应将冷水、冷却水系统的内部积水全部放净，防止产生锈蚀。水室端盖应密封住。

　　3）机组长期停机时，应做好维修保养工作。