光刻机冷却循环水装置常见故障知识说明

　　1、制冷压缩机内无敲击声，压缩机正常运转，膨胀阀开度调节合适，运转中只有压缩机吸、排气声，不产生敲击或其它不正常声响。

　　2、压缩机各摩擦部位温度正常，无激热现象。压缩机各摩擦部位、轴承与轴颈接触良好，润滑正常，不产生超过环境温度。

　　3、曲轴箱油面处在正常位置，一般压缩机曲轴箱正常油面应在视油镜中间位置。如果是两个油镜，则正常油面应在上油镜的水平线上，但低不得低于下油镜水平线或见不到油位。另外，在压缩机运转过程中滑油不应起泡。

　　4、油压过低会造成各摩部件表面的干摩或卸载一能量调节机构动作迟缓；油压过高不但易损坏油泵轴、键及传动件，而且会使各摩擦面之间进油过多，增加摩擦阻力。。

　　5、压缩机无结霜现象，制冷系统工作过程中，压缩机回气管路结霜应属正常现象，但当操作不良或膨胀阀调整不当时，往往会造成压缩机气缸壁和机体结霜，严重时可能造成压缩机“液击”。

　　6、光刻机冷却循环水装置制冷系统各辅助设备处于正常工作状态，膨胀阀开度适当；各风机及电机运转平稳；水循环系统的水泵运转正常，无异常声响；水循环管路及各连接处无严重漏水现象；更重要的是制冷系统所有设备连接管路不允许有制冷剂泄漏现象。

　　7、光刻机冷却循环水装置制冷系统所有压力及温度指示正确，压力表、温度表指针稳定；高、低油压控制器调整适当，在所要求之压力数值范围内能起到自动控制和保护作用。

8、制冷系统正常工作时，其冷凝压力与冷凝温度，蒸发压力与蒸发温度呈对应关系。